半导体设备用射频电源市场运行机制研究及发展趋势分析报告

2024年10月30日 Global Info Research调研机构发布了《全球半导体设备用射频电源行业总体规模、主要厂商及IPO上市调研报告，2024-2030》。本报告研究全球半导体设备用射频电源总体规模，主要地区规模，主要企业规模和份额，主要产品分类规模，下游主要应用规模等。统计维度包括收入和市场份额等。不仅全面分析全球范围内主要企业竞争态势，收入和市场份额等。同时也重点分析全球市场主要厂商（品牌）产品特点、产品规格、收入、毛利率及市场份额、及发展动态。历史数据为2019至2023年，预测数据为2024至2030年。

调研机构：Global Info Research电子及半导体研究中心

报告页码：152

射频电源是具有一定功率、能产生固定频率的正弦波电压的电源，其频率在射频范围内（约3KHz～300GHz）。 一般功率为0.3～15kW，频率有2 MHz、4KHz、13.56 MHz、27.12 MHz、40.68MHz、60MHz等不同范围，可以利用高频电源产生稳定的电流和电压，满足各种机械设备需求。

射频电源主要由5部分组成：直流电源模块、振荡电路模块、功率放大模块、射频功率检测模块、射频联锁控制模块。

直流电源模块：为电源内部控制电路板供电，包括24V、15V等电压；

振荡电路模块：是晶体振荡部分，产生正弦波信号；

功率放大模块：由几个固态晶体管组成，主要目的是放大高频信号的功率，使输出功率满足输出

要求；

射频功率检测模块：主要是检测控制电路，通过高频测量电感检测入射功率和反射功率，并将信号提供给主控板，实现自动PID控制；

射频互锁控制模块：主要是开关信号方式，可提供安全互锁功能，如射频输出线路互锁、高压互锁、射频输出互锁、超温互锁等控制功能。

射频电源根据采用的功率放大器类型不同，可分为电子管射频电源与晶体管射频电源(又称为全固态射频电源)。射频功率放大器的发展较为缓慢，直到1904年电子管的出现，才开始被正式应用于各领域口，这是因为电子管从根本上解决了射频功率放大器的器件问题。但是电子管本身存在很多问题：首先它的体积非常大，在某些精密领域限制了电子管射频电源的应用；其次电子管射频电源的寿命还不到晶体管射频电源的一半，最重要的是它的制造工艺非常复杂，因此随着晶体管的发展，电子管逐渐被淘汰。同电子管相比，晶体管射频电源的体积要小很多，同时它的损耗低，寿命长，产生很少的热量。目前国外的射频电源功率放大器大多为晶体管，代表公司有美国 MKS Instruments、Advanced Energy和XP Power。

射频电源在半导体领域主要用于蚀刻、CVD、PVD等工艺设备中。

根据本项目团队最新调研，预计2030年全球半导体设备用射频电源产值达到1448百万美元，2024-2030年期间年复合增长率CAGR为6.0%。

半导体设备用射频电源在不同的工艺中使用的频率有很大的差异。比如在蚀刻和薄膜沉积工艺中主流使用13.56MHz和60MHz，在ICP工艺中则主要使用2 MHz和27.12 MHz，在ICP蚀刻该工艺中，通常是两个电源搭配使用，比如两个13.56或者2+27.12。

据WSTS数据，该行业在2022年经历了重大起伏。虽然芯片销售在2022年达到了有史以来最高的年度总额，但下半年的放缓大大限制了增长。2022年，全球半导体销售额达到5740亿美元，其中美国半导体公司的销售额总计为2750亿美元，占全球市场的48%。2023年由于市场经济影响以及终端需求减弱，半导体整年度的销售额下降为5268亿美元。预计2024年，随着下游需求回暖，半导体市场销售额将达到5500亿美元左右。

随着半导体市场规模的不断扩大和技术的持续进步，其在电子、通信、计算机等多个领域的应用日益广泛，这不仅推动了半导体产业的蓬勃发展，也相应地带动了作为关键配套设备的射频电源的需求增长。射频电源作为半导体制造过程中不可或缺的一部分，其性能的稳定性和精度直接影响到半导体产品的质量和生产效率，因此，随着半导体市场规模的扩大，对射频电源的需求也随之增加，为其市场的发展提供了有力的支撑。

半导体设备用射频电源企业主要分布在美国、日本、韩国、欧洲（瑞士、德国、英国）和中国，其中美国和日本企业占据了大部分市场。头部核心企业主要包括有Advanced Energy、万机仪器、康姆艾德、DAIHEN Corporation、通快、Adtec Plasma Technology、京三制作所、XP Power、爱发科和日本电子株式会社，其中Top5企业份额达到了65%，市场主要集中在头部企业手中。

根据不同产品类型，半导体设备用射频电源细分为：400KHz、 2MHz、 4MHz、 13.56MHz、 27.12Mhz、 40.68MHz、 60MHz、 其他

根据半导体设备用射频电源不同下游应用，本文重点关注以下领域：蚀刻、 CVD、 PVD、 其他

本文重点关注全球范围内半导体设备用射频电源主要企业，包括：Advanced Energy、 万机仪器、 康姆艾德、 DAIHEN Corporation、 通快、 Adtec Plasma Technology、 京三制作所、 XP Power、 爱发科、 日本电子株式会社、 北广科技、 ASE、 Seren IPS、 Pearl Kogyo、 深圳市恒运昌真空技术有限公司、 New Power Plasma、 Youngsin RF Co., Ltd、 上海伊恩埃半导体科技股份有限公司、 RF Power Tech、 EQ Global、 Coaxis Power Systems

本文重点关注全球主要地区和国家，重点包括：
第1章、研究半导体设备用射频电源产品的定义、行业规模统计说明、产品分类、应用等以及全球及地区总体规模及预测
第2章、着重分析企业，包括企业基本情况、主营业务及主要产品、半导体设备用射频电源产品的介绍、收入、毛利率及企业最新发展动态等
第3章、重点分析全球竞争态势，主要包括全球半导体设备用射频电源的收入、市场份额、企业相关业务/产品布局情况、下游市场及应用、行业并购、新进入者及扩产情况。
第4章、分析全球市场不同产品类型半导体设备用射频电源的市场规模、收入、预测及份额
第5章、分析全球市场不同应用半导体设备用射频电源的市场规模、收入、预测及份额
第6章、北美地区半导体设备用射频电源按国家、产品类型和应用的市场规模、收入、预测及份额
第7章、欧洲地区半导体设备用射频电源按国家、产品类型和应用的市场规模、收入、预测及份额
第8章、亚太地区半导体设备用射频电源按国家、产品类型和应用的市场规模、收入、预测及份额
第9章、南美地区半导体设备用射频电源按国家、产品类型和应用的市场规模、收入、预测及份额
第10章、中东及非洲半导体设备用射频电源按国家、产品类型和应用的市场规模、收入、预测及份额
第11章、深入研究半导体设备用射频电源的市场动态、驱动因素、阻碍因素、发展趋势、行业内竞争者现在的竞争能力、潜在竞争者进入的能力、供应商的议价能力、购买者的议价能力、替代品的替代能力
第12章、半导体设备用射频电源行业产业链分析、上游的核心原料以及原料供应商分析、中游分析、下游分析
第13-14章、研究结论以及研究方法，研究过程及数据来源

历史数据(2019-2023)，行业现状包括主要厂商竞争格局、扩产、并购等、市场数据细分、按分类细分、按应用、按地区/区域细分。
历史数据(2019-2023)，市场规模包括产品销售收入等、市场份额及增长趋势历史及当前现状分析、进出口等、市场份额、增长率以及现状分析。
行业现状以及市场规模影响因素包括市场环境、政府政策、技术革新、市场风险。
预测数据(2024-2030)，行业现状包括总体规模预测、不同分类预测、不同应用预测以及主要区域/国家预测。
预测数据(2024-2030)，市场规模包括价格预测等、市场份额及增长率、竞争趋势预测。

报告目录

1 全球供给分析
1.1 半导体设备用射频电源介绍
1.2 全球半导体设备用射频电源供给规模及预测
1.2.1 全球半导体设备用射频电源产值（2019 & 2023 & 2030）
1.2.2 全球半导体设备用射频电源产量（2019-2030）
1.2.3 全球半导体设备用射频电源价格趋势（2019-2030）
1.3 全球主要生产地区及规模（基于半导体设备用射频电源产地分布）
1.3.1 全球主要生产地区半导体设备用射频电源产值（2019-2030）
1.3.2 全球主要生产地区半导体设备用射频电源产量（2019-2030）
1.3.3 全球主要生产地区半导体设备用射频电源均价（2019-2030）
1.3.4 美国 半导体设备用射频电源产量（2019-2030）
1.3.5 欧洲 半导体设备用射频电源产量（2019-2030）
1.3.6 中国 半导体设备用射频电源产量（2019-2030）
1.3.7 日本 半导体设备用射频电源产量（2019-2030）
1.3.8 韩国 半导体设备用射频电源产量（2019-2030）
1.4 市场驱动因素、阻碍因素及趋势
1.4.1 半导体设备用射频电源市场驱动因素
1.4.2 半导体设备用射频电源行业影响因素分析
1.4.3 半导体设备用射频电源行业趋势
2 全球需求规模分析
2.1 全球半导体设备用射频电源总体需求/消费分析（2019-2030）
2.2 全球半导体设备用射频电源主要消费地区及销量
2.2.1 全球主要地区半导体设备用射频电源销量（2019-2024）
2.2.2 全球主要地区半导体设备用射频电源销量预测（2025-2030）
2.3 美国半导体设备用射频电源销量（2019-2030）
2.4 中国半导体设备用射频电源销量（2019-2030）
2.5 欧洲半导体设备用射频电源销量（2019-2030）
2.6 日本半导体设备用射频电源销量（2019-2030）
2.7 韩国半导体设备用射频电源销量（2019-2030）
2.8 东盟国家半导体设备用射频电源销量（2019-2030）
2.9 印度半导体设备用射频电源销量（2019-2030）
3 行业竞争状况分析
3.1 全球主要厂商半导体设备用射频电源产值（2019-2024）
3.2 全球主要厂商半导体设备用射频电源产量（2019-2024）
3.3 全球主要厂商半导体设备用射频电源平均价格（2019-2024）
3.4 全球半导体设备用射频电源主要企业四象限评价分析
3.5 行业排名及集中度分析（CR）
3.5.1 全球半导体设备用射频电源主要厂商排名（基于2023年企业规模排名）
3.5.2 半导体设备用射频电源全球行业集中度分析（CR4）
3.5.3 半导体设备用射频电源全球行业集中度分析（CR8）
3.6 全球半导体设备用射频电源主要厂商产品布局及区域分布
3.6.1 全球半导体设备用射频电源主要厂商区域分布
3.6.2 全球主要厂商半导体设备用射频电源产品类型
3.6.3 全球主要厂商半导体设备用射频电源相关业务/产品布局情况
3.6.4 全球主要厂商半导体设备用射频电源产品面向的下游市场及应用
3.7 竞争环境分析
3.7.1 行业过去几年竞争情况
3.7.2 行业进入壁垒
3.7.3 行业竞争因素分析
3.8 潜在进入者及业内主要厂商未来产能规划
3.9 行业并购分析
4 中国、美国及全球其他市场对比分析
4.1 美国VS中国：产值规模对比
4.1.1 美国VS中国：半导体设备用射频电源产值对比（2019 & 2023 & 2030）
4.1.2 美国VS中国：半导体设备用射频电源产值份额对比（2019 & 2023 & 2030）
4.2 美国VS中国：半导体设备用射频电源产量规模对比
4.2.1 美国VS中国：半导体设备用射频电源产量对比（2019 & 2023 & 2030）
4.2.2 美国VS中国：半导体设备用射频电源产量份额对比（2019 & 2023 & 2030）
4.3 美国VS中国：半导体设备用射频电源销量对比
4.3.1 美国VS中国：半导体设备用射频电源销量对比（2019 & 2023 & 2030）
4.3.2 美国VS中国：半导体设备用射频电源销量份额对比（2019 & 2023 & 2030）
4.4 美国本土半导体设备用射频电源主要生产商及市场份额2019-2024
4.4.1 美国本土半导体设备用射频电源主要生产商，总部及产地分布
4.4.2 美国本土主要生产商半导体设备用射频电源产值（2019-2024）
4.4.3 美国本土主要生产商半导体设备用射频电源产量（2019-2024）
4.5 中国本土半导体设备用射频电源主要生产商及市场份额2019-2024
4.5.1 中国本土半导体设备用射频电源主要生产商，总部及产地分布
4.5.2 中国本土主要生产商半导体设备用射频电源产值（2019-2024）
4.5.3 中国本土主要生产商半导体设备用射频电源产量（2019-2024）
4.6 全球其他地区半导体设备用射频电源主要生产商及份额2019-2024
4.6.1 全球其他地区半导体设备用射频电源主要生产商，总部及产地分布
4.6.2 全球其他地区主要生产商半导体设备用射频电源产值（2019-2024）
4.6.3 全球其他地区主要生产商半导体设备用射频电源产量（2019-2024）
5 产品类型细分
5.1 根据产品类型，全球半导体设备用射频电源细分市场预测2019 VS 2023 VS 2030
5.2 不同产品类型细分介绍
5.2.1 400KHz
5.2.2 2MHz
5.2.3 4MHz
5.2.4 13.56MHz
5.2.5 27.12Mhz
5.2.6 40.68MHz
5.2.7 60MHz
5.2.8 其他
5.3 根据产品类型细分，全球半导体设备用射频电源细分规模
5.3.1 根据产品类型细分，全球半导体设备用射频电源产量（2019-2030）
5.3.2 根据产品类型细分，全球半导体设备用射频电源产值（2019-2030）
5.3.3 根据产品类型细分，全球半导体设备用射频电源价格趋势（2019-2030）
6 产品应用细分
6.1 根据应用细分，全球半导体设备用射频电源规模预测：2019 VS 2023 VS 2030
6.2 不同应用细分介绍
6.2.1 蚀刻
6.2.2 CVD
6.2.3 PVD
6.2.4 其他
6.3 根据应用细分，全球半导体设备用射频电源细分规模
6.3.1 根据应用细分，全球半导体设备用射频电源产量（2019-2030）
6.3.2 根据应用细分，全球半导体设备用射频电源产值（2019-2030）
6.3.3 根据应用细分，全球半导体设备用射频电源平均价格（2019-2030）
7 企业简介
7.1 Advanced Energy
7.1.1 Advanced Energy基本情况
7.1.2 Advanced Energy主营业务及主要产品
7.1.3 Advanced Energy 半导体设备用射频电源产品介绍
7.1.4 Advanced Energy 半导体设备用射频电源产量、均价、产值、毛利率及市场份额（2019-2024）
7.1.5 Advanced Energy最新发展动态
7.1.6 Advanced Energy 半导体设备用射频电源优势与不足
7.2 万机仪器
7.2.1 万机仪器基本情况
7.2.2 万机仪器主营业务及主要产品
7.2.3 万机仪器 半导体设备用射频电源产品介绍
7.2.4 万机仪器 半导体设备用射频电源产量、均价、产值、毛利率及市场份额（2019-2024）
7.2.5 万机仪器最新发展动态
7.2.6 万机仪器 半导体设备用射频电源优势与不足
7.3 康姆艾德
7.3.1 康姆艾德基本情况
7.3.2 康姆艾德主营业务及主要产品
7.3.3 康姆艾德 半导体设备用射频电源产品介绍
7.3.4 康姆艾德 半导体设备用射频电源产量、均价、产值、毛利率及市场份额（2019-2024）
7.3.5 康姆艾德最新发展动态
7.3.6 康姆艾德 半导体设备用射频电源优势与不足
7.4 DAIHEN Corporation
7.4.1 DAIHEN Corporation基本情况
7.4.2 DAIHEN Corporation主营业务及主要产品
7.4.3 DAIHEN Corporation 半导体设备用射频电源产品介绍
7.4.4 DAIHEN Corporation 半导体设备用射频电源产量、均价、产值、毛利率及市场份额（2019-2024）
7.4.5 DAIHEN Corporation最新发展动态
7.4.6 DAIHEN Corporation 半导体设备用射频电源优势与不足
7.5 通快
7.5.1 通快基本情况
7.5.2 通快主营业务及主要产品
7.5.3 通快 半导体设备用射频电源产品介绍
7.5.4 通快 半导体设备用射频电源产量、均价、产值、毛利率及市场份额（2019-2024）
7.5.5 通快最新发展动态
7.5.6 通快 半导体设备用射频电源优势与不足
7.6 Adtec Plasma Technology
7.6.1 Adtec Plasma Technology基本情况
7.6.2 Adtec Plasma Technology主营业务及主要产品
7.6.3 Adtec Plasma Technology 半导体设备用射频电源产品介绍
7.6.4 Adtec Plasma Technology 半导体设备用射频电源产量、均价、产值、毛利率及市场份额（2019-2024）
7.6.5 Adtec Plasma Technology最新发展动态
7.6.6 Adtec Plasma Technology 半导体设备用射频电源优势与不足
7.7 京三制作所
7.7.1 京三制作所基本情况
7.7.2 京三制作所主营业务及主要产品
7.7.3 京三制作所 半导体设备用射频电源产品介绍
7.7.4 京三制作所 半导体设备用射频电源产量、均价、产值、毛利率及市场份额（2019-2024）
7.7.5 京三制作所最新发展动态
7.7.6 京三制作所 半导体设备用射频电源优势与不足
7.8 XP Power
7.8.1 XP Power基本情况
7.8.2 XP Power主营业务及主要产品
7.8.3 XP Power 半导体设备用射频电源产品介绍
7.8.4 XP Power 半导体设备用射频电源产量、均价、产值、毛利率及市场份额（2019-2024）
7.8.5 XP Power最新发展动态
7.8.6 XP Power 半导体设备用射频电源优势与不足
7.9 爱发科
7.9.1 爱发科基本情况
7.9.2 爱发科主营业务及主要产品
7.9.3 爱发科 半导体设备用射频电源产品介绍
7.9.4 爱发科 半导体设备用射频电源产量、均价、产值、毛利率及市场份额（2019-2024）
7.9.5 爱发科最新发展动态
7.9.6 爱发科 半导体设备用射频电源优势与不足
7.10 日本电子株式会社
7.10.1 日本电子株式会社基本情况
7.10.2 日本电子株式会社主营业务及主要产品
7.10.3 日本电子株式会社 半导体设备用射频电源产品介绍
7.10.4 日本电子株式会社 半导体设备用射频电源产量、均价、产值、毛利率及市场份额（2019-2024）
7.10.5 日本电子株式会社最新发展动态
7.10.6 日本电子株式会社 半导体设备用射频电源优势与不足
7.11 北广科技
7.11.1 北广科技基本情况
7.11.2 北广科技主营业务及主要产品
7.11.3 北广科技 半导体设备用射频电源产品介绍
7.11.4 北广科技 半导体设备用射频电源产量、均价、产值、毛利率及市场份额（2019-2024）
7.11.5 北广科技最新发展动态
7.11.6 北广科技 半导体设备用射频电源优势与不足
7.12 ASE
7.12.1 ASE基本情况
7.12.2 ASE主营业务及主要产品
7.12.3 ASE 半导体设备用射频电源产品介绍
7.12.4 ASE 半导体设备用射频电源产量、均价、产值、毛利率及市场份额（2019-2024）
7.12.5 ASE最新发展动态
7.12.6 ASE 半导体设备用射频电源优势与不足
7.13 Seren IPS
7.13.1 Seren IPS基本情况
7.13.2 Seren IPS主营业务及主要产品
7.13.3 Seren IPS 半导体设备用射频电源产品介绍
7.13.4 Seren IPS 半导体设备用射频电源产量、均价、产值、毛利率及市场份额（2019-2024）
7.13.5 Seren IPS最新发展动态
7.13.6 Seren IPS 半导体设备用射频电源优势与不足
7.14 Pearl Kogyo
7.14.1 Pearl Kogyo基本情况
7.14.2 Pearl Kogyo主营业务及主要产品
7.14.3 Pearl Kogyo 半导体设备用射频电源产品介绍
7.14.4 Pearl Kogyo 半导体设备用射频电源产量、均价、产值、毛利率及市场份额（2019-2024）
7.14.5 Pearl Kogyo最新发展动态
7.14.6 Pearl Kogyo 半导体设备用射频电源优势与不足
7.15 深圳市恒运昌真空技术有限公司
7.15.1 深圳市恒运昌真空技术有限公司基本情况
7.15.2 深圳市恒运昌真空技术有限公司主营业务及主要产品
7.15.3 深圳市恒运昌真空技术有限公司 半导体设备用射频电源产品介绍
7.15.4 深圳市恒运昌真空技术有限公司 半导体设备用射频电源产量、均价、产值、毛利率及市场份额（2019-2024）
7.15.5 深圳市恒运昌真空技术有限公司最新发展动态
7.15.6 深圳市恒运昌真空技术有限公司 半导体设备用射频电源优势与不足
7.16 New Power Plasma
7.16.1 New Power Plasma基本情况
7.16.2 New Power Plasma主营业务及主要产品
7.16.3 New Power Plasma 半导体设备用射频电源产品介绍
7.16.4 New Power Plasma 半导体设备用射频电源产量、均价、产值、毛利率及市场份额（2019-2024）
7.16.5 New Power Plasma最新发展动态
7.16.6 New Power Plasma 半导体设备用射频电源优势与不足
7.17 Youngsin RF Co., Ltd
7.17.1 Youngsin RF Co., Ltd基本情况
7.17.2 Youngsin RF Co., Ltd主营业务及主要产品
7.17.3 Youngsin RF Co., Ltd 半导体设备用射频电源产品介绍
7.17.4 Youngsin RF Co., Ltd 半导体设备用射频电源产量、均价、产值、毛利率及市场份额（2019-2024）
7.17.5 Youngsin RF Co., Ltd最新发展动态
7.17.6 Youngsin RF Co., Ltd 半导体设备用射频电源优势与不足
7.18 上海伊恩埃半导体科技股份有限公司
7.18.1 上海伊恩埃半导体科技股份有限公司基本情况
7.18.2 上海伊恩埃半导体科技股份有限公司主营业务及主要产品
7.18.3 上海伊恩埃半导体科技股份有限公司 半导体设备用射频电源产品介绍
7.18.4 上海伊恩埃半导体科技股份有限公司 半导体设备用射频电源产量、均价、产值、毛利率及市场份额（2019-2024）
7.18.5 上海伊恩埃半导体科技股份有限公司最新发展动态
7.18.6 上海伊恩埃半导体科技股份有限公司 半导体设备用射频电源优势与不足
7.19 RF Power Tech
7.19.1 RF Power Tech基本情况
7.19.2 RF Power Tech主营业务及主要产品
7.19.3 RF Power Tech 半导体设备用射频电源产品介绍
7.19.4 RF Power Tech 半导体设备用射频电源产量、均价、产值、毛利率及市场份额（2019-2024）
7.19.5 RF Power Tech最新发展动态
7.19.6 RF Power Tech 半导体设备用射频电源优势与不足
7.20 EQ Global
7.20.1 EQ Global基本情况
7.20.2 EQ Global主营业务及主要产品
7.20.3 EQ Global 半导体设备用射频电源产品介绍
7.20.4 EQ Global 半导体设备用射频电源产量、均价、产值、毛利率及市场份额（2019-2024）
7.20.5 EQ Global最新发展动态
7.20.6 EQ Global 半导体设备用射频电源优势与不足
7.21 Coaxis Power Systems
7.21.1 Coaxis Power Systems基本情况
7.21.2 Coaxis Power Systems主营业务及主要产品
7.21.3 Coaxis Power Systems 半导体设备用射频电源产品介绍
7.21.4 Coaxis Power Systems 半导体设备用射频电源产量、均价、产值、毛利率及市场份额（2019-2024）
7.21.5 Coaxis Power Systems最新发展动态
7.21.6 Coaxis Power Systems 半导体设备用射频电源优势与不足
8 行业产业链分析
8.1 半导体设备用射频电源行业产业链
8.2 上游分析
8.2.1 半导体设备用射频电源核心原料
8.2.2 半导体设备用射频电源原料供应商
8.3 中游分析
8.4 下游分析
8.5 半导体设备用射频电源生产方式
8.6 半导体设备用射频电源行业采购模式
8.7 半导体设备用射频电源行业销售模式及销售渠道
8.7.1 半导体设备用射频电源销售渠道
8.7.2 半导体设备用射频电源代表性经销商
9 研究结论
10 附录
10.1 研究方法
10.2 研究过程及数据来源
10.3 免责声明